專利名稱：一種環糊精衍生物型光敏樹脂及其制備方法、基于其的抗蝕劑組合物和應用
專利號＼申請號：CN201810355045.9
注 冊 地：中國
專利類型：發明
專利領域：化學
聯 系 人：裘暉
聯系方式：020-22237111
簡介說明：本發明屬于高分子材料技術領域，公開了一種環糊精衍生物型光敏樹脂及其制備方法、基于其的抗蝕劑組合物和在微電子領域中的應用。本發明環糊精衍生物型光敏樹脂由包括巰基環糊精衍生物、含酸敏基團的烯類化合物、含極性基團的烯類化合物混合反應得到。本發明環糊精衍生物型光敏樹脂可應用于微電子領域中。本發明還提供一種基于上述環糊精衍生物型光敏樹脂的抗蝕劑組合物。本發明通過把含酸敏基團的烯類化合物和含極性基團的烯類化合物與巰基環糊精衍生物反應，制備性能可調、成膜性能優異、分子量分布窄、分辨率高的新型分子玻璃體抗蝕劑，有效地解決了現有分子玻璃體型抗蝕劑保護基團單一、基底黏附性能不佳、收縮率大、容易開裂的問題。